特 長
仕 様

0.5μmまでの微細異物計測

オートフォーカス装置による鮮明な画像

ジョイスティック付き自動XYステージにより操作性向上

色付き粒子の測定も可能

粒径、面積、形状ほか51種類の測定項目

専用ビューアにより画像と対比しながらデータ確認が可能